检查可编程电源内部元件损坏时，可遵循以下步骤和方法：

1. 外观检查：
   • 打开电源外壳，检查是否有明显的烧焦、变形、电解液溢出等痕迹。
   • 特别注意保险丝是否熔断，整流桥、二极管、电容等元件是否有损坏迹象。
2. 电源输入检查：
   • 使用万用表测量输入电压是否稳定，是否符合电源的额定输入要求。
   • 检查输入线路是否松动或接触不良。
3. 输出电压检查：
   • 使用万用表或示波器测量输出电压，确认是否符合规格要求。
   • 如果输出电压偏低或偏高，可能是内部元件（如稳压器、滤波电容等）故障。
4. 保护功能检查：
   • 模拟短路、过流、过压等情况，检查电源的保护功能是否正常触发。
   • 如果保护功能异常，可能是相关保护电路元件损坏。
5. 元件逐一排查：
   • 开关管（MOS管）：检查是否受到外部高压干扰而击穿损坏，测量其电阻值或使用替代法判断。
   • 输出整流二极管：检查反向耐压和正向电流特性，确认是否损坏。
   • 滤波电容：使用LCR表测量电容值和ESR，确认是否老化或损坏。
   • 光电耦合器：检查电流传递比（CTR）是否减小，LED是否损坏。
   • 稳压器：检查输出电压是否稳定，调整电路是否正常工作。
   • 集成电路（如TL494、KA7500等）：查阅相关手册，测量各引脚电压，确认是否工作正常。
6. 散热情况检查：
   • 检查散热器是否堵塞或散热不良，导致元件温度过高而损坏。
   • 使用红外热成像仪检查元件温度，确认是否有过热现象。
7. 连接线路检查：
   • 检查所有连接线路是否松动或接触不良，特别是输入输出线路和内部元件之间的连接。
8. 替换法检查：
   • 如果怀疑某个元件损坏，可以使用替代法进行验证。即更换一个已知良好的元件，观察电源是否恢复正常工作。